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半导体行业中气体检测仪的应用

发表时间:2022-06-08  |  点击率:418

半导体行业中气体检测仪的应用

智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器,这些以及其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。在半导体芯片生产线制程工艺中,会使用到特种工艺气体,也会产生大量危险性气体,需要使用气体检测仪对空气中有毒有害气体含量进行检测,防止因气体泄漏,导致危险发生。

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东日瀛能 SK/MIC-800-GAS-Y 便携式气体检测仪

特种工艺气体

目前,应用于半导体产业的特种气体有110余种,常用的有20-30种。

按其危险性分类可分为:惰性气体、易ran气体、毒性气体、腐蚀性气体、氧化性气体、低温气体。

1惰性气体

不可燃气体有N2ArHe等,它们具有窒息性,即取代肺中的氧气后能让人窒息而死

2易ran气体

易ran气体C2H2H2CH4SIH4PH3NH3等,它们具有窒息性,可燃性,其中有些气体如H2CH4SIH4PH3还具有爆炸的可能性。

3毒性气体

毒性气体有AsH3PH3COCL2,它们的毒性对身体有害,有的可能造成人员中毒死亡。中毒途径有吸人、吸收(通过皮肤)、吞食、注射(通过伤口)

4腐蚀性气体

腐蚀性气体可分为低腐蚀性气体如HFBCL3、和高腐蚀性气体如HCLBF3、二氯甲烷(DCS)三lv甲烷(TCS)氯化氯(CLF3)等,它们具有摧毁人的生理组织以及腐蚀设备的危害。

5氧化气体

氧化性气体有O2N20等它们具有助燃性、高反应性。

6低温气体

低温液体是指在常压下沸点低于-240,例如:液氧、液氩、液氮、液氢、液氦。它们的低温可能会引起冻伤,以及引起周围物品的损伤危险,包括过冷、过大的体积膨胀。


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东日瀛能 SK-7500-GAS-Y 固定污染源废气气体在线监测预处理系统

废气

半导体芯片生产过程中,会产生大量的有毒有害气体

主要包括:酸碱废气和有机废气两类。

/碱废气包括:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

有机废气包括:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;

主要危害:

半导体芯片生产线的切题危害,主要是器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂(如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、氯乙烷及其他有机卤化物)挥发造成的,以及整机装配过程中产生的粉尘,会造成人群慢性或急性中毒。

检测仪器

东日瀛能SK/MIC-600-GAS-Y固定式可燃有毒有害气体浓度检测仪与SK/MIC-800-GAS-Y便携式可燃有毒有害气体浓度检测仪采用进口传感器,抗中毒,高稳定性高精度,可实时在线监测其浓度,自带显示与声光报警。固定式自带4-20MARS485以及开关量输出,可定制无线传输数据,高低报警值自由设置,当气体浓度超标时,自动发出85dB以上的报警声响,联动排气扇等设备,做出相应的防护动作。精度高、稳定性强、误差率低;配备工业级铝合金防护外壳,坚固耐用。


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东日瀛能 SK/MIC-600-GAS-Y 固定式气体检测仪

 

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