欢迎来到深圳市东日瀛能科技有限公司网站!
咨询热线

18688795860

当前位置:首页  >  技术文章  >  为什么要使用三氟化氮检测仪?三氟化氮有什么危害?

为什么要使用三氟化氮检测仪?三氟化氮有什么危害?

发表时间:2022-02-21  |  点击率:129

为什么要使用三氟化氮检测仪?三氟化氮有什么危害?

三氟化氮(nitrogen trifluoride)化学式NF₃,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。


东日瀛能 SK/MIC-600-NF3-Y 在线式三氟化氮检测仪

三氟化氮是低毒性物质,但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼,使牙齿生黄斑,骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解,甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡,但出现高铁血红蛋白血症,当吸入10000ppm·l小时有死亡,在2500ppm时吸毒后4小时死亡。最高容许浓度:10ppm(29mg/m3)

如何才能不超过这个10ppm浓度限制呢?就需要用到三氟化氮检测仪,使用东日瀛能三氟化氮气体浓度检测仪可以检测其浓度,固定式三氟化氮检测仪安装于气体最易泄露的地点,其核心部件为气体传感器,当三氟化氮泄露后挥发出来的气体传感器接触反应,固定式三氟化氮监测仪便会启动自身的报警功能声光报警,警醒工作人员。


东日瀛能 SK/MIC-800-NF3-Y 便携式三氟化氮检测仪

工作人员另外可佩戴便携式三氟化氮检测仪。便携式三氟化氮泄漏检测仪可连续检测作业环境中三氟化氮浓度。采用进口电化学传感器,具有很好的灵敏度和出色的重复性;三氟化氮检测仪采用嵌入式微控制技术,菜单操作简单、功能齐全、可靠性高。


扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站